金属波导膜厚测量仪的研制

• 作者: 戴国钧 赵毅红 陈荣发
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 金属波导 膜厚测量仪
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 53-55
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2130字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.02.015

摘要

重点介绍了金属波导膜厚测量仪的制备原理、结构和特点,测试表明该装置是一台先进的微波性能检测设备,C波段圆极化铁氧体移相器波导膜系的膜厚均匀度不大于5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈荣发		51	260	8.0	13.0
2	戴国钧		10	32	2.0	5.0
3	赵毅红		27	84	5.0	8.0