载流子吸收对SOIMach-Zehnder干涉型电光调制器性能的影响

• 作者: 严清峰 余金中
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 等离子色散效应 载流子吸收 Mach-Zehnder干涉 电光调制器
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1308-1312
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3385字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.12.015

摘要

分析了载流子吸收对SOI材料制作的Y分支型Mach-Zehnder干涉型电光调制器/开关性能的影响,并提出了改进器件性能的一些措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	110	703	13.0	21.0
2	严清峰	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	14	108	6.0	10.0