多孔Al2O3薄膜感湿材料的湿敏特性研究

• 作者: 任豪 章佩娴
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔Al2O3薄膜 湿度传感器 阳极氧化
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 11-13
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2702字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2002.08.004

摘要

通过对阳极氧化多孔Al2O3薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究,将阳极氧化参数对多孔Al2O3薄膜的结构和形态的影响与多孔Al2O3薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系起来进行分析,为优化制备工艺参数提供更充分的实验数据,使新型多孔Al2O3薄膜湿度传感器具有更好的感湿特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任豪		35	185	8.0	12.0
2	章佩娴	中山大学物理系	1	3	1.0	1.0