无电极高频放电球形光源的阻抗

• 作者: 王尔镇
• 来源期刊: 光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 感应耦合放电 低压氩光源 阻抗 高频放电 球形光源
• 年，卷（期）: gdjs_2002,（1）
• 页码范围: 25-32
• 页数: 8页
• 分类号: TM923.01

摘要

本文描述了决定感应耦合低压氩等离子体放电管阻抗的一种方法，设计应用于感应耦合荧光灯光源，它是一球形放电管，感应线圈绕在球形赤道表面。灯内氩气压力为100Pa，射频线圈电充的频率为10MHz。假定等离子体密度和电子温度是均匀的，易于得出电磁场的分析解。使用这个了解我们可以得到电子电流和等离子体阻抗的空间分丰的简便近似计算。给出了阻抗数据计算的结果并与实验结果比较。