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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 激光物理气相沉积术(一)
来源期刊 激光集锦 学科 物理学
关键词 激光 物理气相沉积术 薄膜沉积 PVD 金刚石
年,卷(期) 2002,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 39-49
页数 11页 分类号 O484
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
激光
物理气相沉积术
薄膜沉积
PVD
金刚石
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