微机械系统建模与仿真技术研究

• 作者: 季国顺 张永康
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 物理场耦合 建模与仿真 宏模型
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 626-631
• 页数: 6页
• 分类号: TH128
• 字数: 4232字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2002.06.018

摘要

简要分析了微电子机械系统建模仿真的原因,指出了微电子机械建模仿真需要克服的四个方面技术难题,即尺度效应、开发快速的表面力计算方法、多物理场耦合分析、宏模型的建立,为微电子机械系统的建模仿真指明了研究方向.详细分析了微电子机械系统建模仿真的技术关键,多物理场耦合计算的理论方法和器件及系统宏观模型的建立,介绍了用于MEMS系统级模拟仿真的宏模型建立的几种方法,最后结合硬件描述语言VHDL-AMS提出了建立微电子机械系统模型实现系统级模拟的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永康	江苏大学机械工程学院	219	3356	29.0	43.0
2	季国顺	江苏大学机械工程学院	2	53	2.0	2.0