化学气相沉积热解炭机理及其化学动力学

• 作者: 杨昕 潘鼎 陈惠芳
• 来源期刊: 炭素
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积(CVD) 热解炭 沉积机理 沉积动力学 沉积模型
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TB332
• 字数: 3245字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8948.2002.02.003

摘要

综述了化学气相沉积热解炭的沉积机理、化学动力学的发展状况及一些基本理论问题,着重介绍了K.J.Huettinger等提出的沉积模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘鼎	东华大学材料学院	94	920	17.0	24.0
2	陈惠芳	东华大学材料学院	33	422	9.0	20.0
3	杨昕	东华大学材料学院	2	2	1.0	1.0