新型多元胞结构2BT100固体放电管设计与工艺

• 作者: 何金华 俞诚 王文源 计建新
• 来源期刊: 微电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多元胞 放电管 双面扩散
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TN302
• 字数: 1572字
• 语种: 中文

摘要

本文简要阐述了新型半导体器件2BT100固体放电管的研制,在设计上采取了多元胞结构,在制作上采用了双面扩散技术,提供了一些工艺过程,给出了一些测试数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文源		1	3	1.0	1.0
2	计建新		3	7	2.0	2.0
3	何金华		1	3	1.0	1.0
4	俞诚		1	3	1.0	1.0