复合静电-磁浸没透镜的宽束曲轴聚焦性质及像差理论

• 作者: 唐天同 姚振华 程敏
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 静电-磁浸没透镜 曲光轴 像差 轨迹
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 5-9
• 页数: 5页
• 分类号: O463.1
• 字数: 4279字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.01.002

摘要

研究了新型的复合静电-磁浸没透镜的曲光轴高斯电子光学性质及像差特性.应用宽束曲轴理论,导出了三维局部正交坐标系中的电子运动的中心轨迹方程和曲光轴的近轴轨迹方程;利用数学软件Mathematica推导出了复合静电-磁浸没透镜全部曲轴二级像差系数.作为实例,文中针对轴上磁场和电场具有某种解析表达式的旋转对称的静电-磁浸没透镜系数,计算了它的曲轴高斯聚焦特性和二级像差,并给出了二级像差分布图形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程敏	西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系	16	97	4.0	9.0
2	唐天同	西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系	49	145	6.0	9.0
3	姚振华	西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系	17	118	6.0	10.0