纳米级超精密抛光机控制系统的研制

• 作者: 卢小慧 袁巨龙 赵文宏 邓凌
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密抛光 嵌入式处理器 专家系统
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 所属期刊栏目: 控制系统
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TG5
• 字数: 3404字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2002.07.014

摘要

简述超精密加工技术现状,介绍超精密平面抛光机的工作原理,分析达到纳米级超精密抛光的技术难点,并阐述了纳米级超精密抛光智能控制系统的实现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁巨龙	浙江工业大学电气系	116	1467	19.0	35.0
2	赵文宏	浙江工业大学电气系	35	279	9.0	15.0
3	邓凌	浙江大学自动控制系	3	18	2.0	3.0
4	卢小慧	金华市消毒灭菌器材厂设备科	2	11	2.0	2.0