共焦原理在宏观和微观表面及疵病分析上的应用

• 作者: HansJ－Tiziani 汪世祯
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 共焦显微术 微型透镜 形状分析 表面分析
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 25-35
• 页数: 11页
• 分类号: TH741.8

摘要

本文介绍了一种由微型透镜构造的共焦装置，用于形状研究，疵病分析和表面状态测量。本技术的优点是发光效率高，并且在不减小数值孔径的情况下有可能获得较大的物方视场。还介绍了针对不同应用场合的多种装置。随着工作距离的加长，本装置的应用范围也越来越广泛。另外，微透镜在旋转盘上的结构安排导致空间采样量增大，和扫描速度的提高。其轴向分辨率与基于尼普科夫圆盘（Nipkow disk)的比较共焦显微镜一样。微型共焦系统可使测量从大的场尺寸降至微小的场尺寸。另外，通过使用色差可获得带色彩编码高度信息的实时图像。样品的表面状态可由一个彩色图像决定，这就使测量时间缩短。为了缩短对弯曲表面的测量时间，一种有效的做法是让微型透镜的焦距适配于物体的单个形状。因此，必须确定的仅只是聚焦分布和实际形状之间的差异。