基于硅结构的微流体控制系统

• 作者: 徐东 王莉 程秀兰 蔡炳初 陈鉴
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微流体控制系统 微流体传感器 微型泵 微型阀
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 58-67
• 页数: 10页
• 分类号: TP211+.3
• 字数: 5093字
• 语种: 中文

摘要

基于硅结构的微流体控制系统(μFCs)是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域.主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状,同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状.