NiTi形状记忆合金薄膜的相结构

• 作者: 柳美荣 王小平 郭锦芳
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 形状记忆合金 磁控溅射法 NiTi薄膜 晶化热处理
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: Ⅱ.热处理、相变、组织与性能
• 页码范围: 224-225
• 页数: 2页
• 分类号: TG146.23|TG139
• 字数: 1387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2002.z1.066

摘要

采用直流磁控溅射法制备了NiTi形状记忆合金薄膜,采用一步法对NiTi薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应,研究了成分和晶化热处理对NiTi薄膜相结构的影响.结果表明,等原子比膜和富钛膜经相同晶化热处理后,相结构明显不同,前者相结构主要为B2相,后者则为B2+M相;且等原子比膜经过不同温度的晶化热处理后,随着温度的升高,M相和第二相也相应增多.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柳美荣		2	9	1.0	2.0
2	郭锦芳		3	17	2.0	3.0
3	王小平		11	14	2.0	3.0