发光二极管外延片质量控制的新方法

• 作者: 苏哲 董占民 陈浩明 韩立
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 外延片 光致发光 无损检测
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1295-1297
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1995字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.12.012

摘要

介绍了一种利用新型发光二极管外延片光致发光光谱在线检测仪对GaP发光二极管外延片进行在线无损检测和质量控制的方法.通过对检测结果的统计分析,得出了对生产工艺的改进意见.最终实现了提高GaP外延片质量的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	清华大学物理系	11	83	5.0	9.0
2	董占民	清华大学物理系	10	31	3.0	5.0
3	苏哲	清华大学物理系	3	20	3.0	3.0
4	陈浩明	清华大学物理系	2	23	2.0	2.0