红外光学薄膜的热应变效应分析

• 作者: 李跃进 杨银堂 柴常春 韩军
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学薄膜 热应变 平均折射率 模拟
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 39-45
• 页数: 7页
• 分类号: TN214
• 字数: 4311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.04.011

摘要

引入了一个分析红外光学薄膜热应变效应的模型,并针对具体情况,对模型作了必要的改进.应用新模型对高温淀积薄膜的冷却过程进行了模拟计算,得出了冷却后薄膜平均折射率与多个薄膜工艺和材料参数的关系,并对模拟结果作了相应的比较分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨银堂	西安电子科技大学微电子所	420	2932	23.0	32.0
2	李跃进	西安电子科技大学微电子所	70	432	11.0	17.0
3	柴常春	西安电子科技大学微电子所	80	592	15.0	19.0
4	韩军	西安电子科技大学微电子所	11	28	4.0	4.0