应变异质外延中的柔性衬底技术

• 作者: 张志成 杨少延
• 来源期刊: 金属材料研究
• 学科: 工学
• 关键词: 应变异质外延 晶格失配 热膨胀系数失配 柔性衬底 临界厚度
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.054

摘要

由于材料的晶格常数与热膨胀系数的不同，应变异质外延生长过程中引入大量缺陷，柔性衬底技术就是为了解决这一问题而发展起来的。本文对柔性衬底技术的发展历史进行了简要的回顾，系统地介绍了各种柔性衬底技术的发展现状，包括已经取得的成果以及存在的问题，并简要介绍了柔性衬底技术的理论基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志成	中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室	53	1295	17.0	35.0
2	杨少延	中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室	17	35	3.0	5.0