MOVPE生长Hg1-xCdxTe薄膜的实验研究

• 作者: 姬荣斌 张怀若 张梅 张静蓉 李艳辉 杨宇 杨玉林
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 衬底 汽相外延 多层膜互扩散 组分 厚度
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 35-38,26
• 页数: 5页
• 分类号: TN213
• 字数: 3600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.04.010

摘要

采用金属有机化合物汽相外延法(MOVPE)和多层膜互扩散生长工艺(IMP)在不同的生长条件下生长了许多Hg1-xCdxTe/GaAs(211)薄膜样品,并对样品进行了傅利叶红外透射(FTIR)和范德堡Hall测量;通过对许多实验数据进行系统的对比分析,总结了薄膜的生长规律,并对这些生长规律作出了理论分析,阐释了薄膜的微观生长机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宇	云南大学材料科学与工程系	101	377	9.0	12.0
2	张静蓉		2	0	0.0	0.0
3	姬荣斌		50	200	7.0	10.0
4	杨玉林		6	13	2.0	3.0
5	张怀若	云南大学材料科学与工程系	1	0	0.0	0.0
9	张梅		4	28	2.0	4.0
10	李艳辉		14	24	3.0	4.0