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WF6分子伸缩振动能谱的非线性模型计算
WF6
伸缩振动
能谱
非线性模型
带附加供料离心净化级联的优化
离心级联
净化
遗传算法
优化
工作流网WRI WF-net的验证方法研究及实现
WF-net
WRI WF-net
工作流模型
合理性
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 超高纯WF6的制备方法
来源期刊 舰船防化 学科 工学
关键词 超高纯六氟化钨 制备方法 原料气 电子制备工艺 半导体 杂质 蒸馏 气体搅拌系统 工艺流程
年,卷(期) 2002,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 24-28
页数 5页 分类号 TQ117
字数 语种 中文
DOI
五维指标
传播情况
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引文网络
引文网络
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2002(0)
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研究主题发展历程
节点文献
超高纯六氟化钨
制备方法
原料气
电子制备工艺
半导体
杂质
蒸馏
气体搅拌系统
工艺流程
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
舰船防化
双月刊
大16开
河北省邯郸市1号信箱
1975
chi
出版文献量(篇)
1169
总下载数(次)
21
总被引数(次)
2174
论文1v1指导