误差综合测量的数字化码检仪

• 作者: 余光清 刘恩海 郝永杰
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 码检仪 数字化测量 误差测量 光栅检验
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 光电系统和器件
• 页码范围: 28-30,34
• 页数: 4页
• 分类号: TN761
• 字数: 2253字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2002.06.008

摘要

介绍了码检仪采用模拟量测量方式的原理、组成及存在的问题;提出了码检仪的数字化途径、原理和所有光栅检测参数的数字化测量,并对数字化测量进行了误差分析.通过对两种测量方式的比较,对数字化测量存在的问题提出了解决办法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘恩海	中国科学院光电技术研究所	48	634	14.0	24.0
2	郝永杰	中国科学院光电技术研究所	7	130	4.0	7.0
3	余光清	中国科学院光电技术研究所	3	15	1.0	3.0