直流辉光等离子体辅助热丝CVD法沉积金刚石薄膜

• 作者: 文钦若 杨景发 赵庆勋 辛红丽 韩佳宁
• 来源期刊: 光谱实验室
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 低温 金刚石。
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 137-139
• 页数: 3页
• 分类号: O434.13
• 字数: 1171字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-8138.2002.01.034

摘要

采用直流辉光等离子体助进热丝化学气相沉积(CVD)的方法，低温(550—620℃)沉积得到晶态金刚石薄膜。经X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)分析表明：稍高气压有利于金刚石薄膜的快速、致密生长。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵庆勋	河北大学物理科学与技术学院	54	254	10.0	13.0
2	杨景发	河北大学物理科学与技术学院	65	377	10.0	16.0
3	文钦若	河北大学物理科学与技术学院	11	20	3.0	4.0
4	韩佳宁	河北大学物理科学与技术学院	4	15	3.0	3.0
5	辛红丽	河北大学物理科学与技术学院	5	17	3.0	4.0