LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究

• 作者: 伊福廷 张菊芳 张院春 彭良强 邹丽芸 韩勇
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 LIGA技术 电火花加工
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 72-74
• 页数: 3页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 1672字
• 语种: 中文

摘要

通过LIGA技术与微细电火花技术相结合,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围.利用LIGA技术制备线宽70μm、厚度达730μm的铜工具电极,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽90μm、具有复杂形状的微结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭良强	中国科学院高能物理研究所	24	141	7.0	11.0
2	张菊芳	中国科学院高能物理研究所	21	136	6.0	11.0
3	韩勇	中国科学院高能物理研究所	67	1000	16.0	30.0
4	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0
5	张院春		5	53	3.0	5.0
6	邹丽芸		4	53	3.0	4.0