新颖的4000吨亚磷酸-二甲酯真空抽气系统

• 作者: 尹宇兴 张宝夫 王晓虎 王群孝 王西龙
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 气冷罗茨真空泵机组 亚磷酸-二甲酯抽气系统
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 应用拓展
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TB753
• 字数: 1783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.05.008

摘要

叙述在亚磷酸-二甲酯真空抽气系统中采用气冷罗茨真空泵机组代替过去一般采用的多台W型往复式真空泵并联组合,可以大大降低功率消耗、提高抽气效率及其节约维修费用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓虎		4	16	3.0	4.0
2	张宝夫		6	38	3.0	6.0
3	王西龙		7	29	3.0	5.0
4	王群孝		1	3	1.0	1.0
5	尹宇兴		4	12	2.0	3.0