等离子体化学气相沉积的布气装置之设计

• 作者: 侯惠君 戴达煌 谢红希 黄绍江
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 真空沉积 结构设计 流量分布 管道流动
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2002.01.006

摘要

推导了在设计真空镀膜设备时,计算镀膜室内布气管的直径和出气孔孔径的公式,di=[d-41-D-4L∑im=2(n+1-m)/(h+10-6Bq)]-1/4,以达到均匀布气的目的.给出了在等离子体化学气相沉积设备中的计算实例及应用情况,实践证明,用此公式设计真空镀膜均匀布气装置是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯惠君	广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心	34	234	10.0	13.0
2	戴达煌	广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心	7	38	4.0	6.0
3	黄绍江	广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心	1	6	1.0	1.0
4	谢红希	广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心	1	6	1.0	1.0