高支化碱溶性聚酯的合成及光成像研究

• 作者: 冯宗财 杜春蕾 王跃川 陈毅敏 陈波
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 高支化聚酯 丙烯酸 多官能团环氧树脂 光成像
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 101-104
• 页数: 4页
• 分类号: TQ323.7
• 字数: 3597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2002.01.036

摘要

通过1,2,4-苯三甲酸酐和环氧氯丙烷合成高支化碱溶性聚酯,再用丙烯酸与多官能团环氧树脂反应产物对高支化聚酯改性得到高支化碱溶性感光聚合物;研究了这类聚合物的碱溶性、感光性和光成像特性.探索了光致抗蚀剂的配方组成和成像因素.结果表明,以接枝引入15%改性多官能团环氧树脂配制的光致抗蚀剂综合性能最好,分辨率3μm以内(白光).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	167	1116	17.0	24.0
2	杜春蕾	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	2	19	2.0	2.0