无衍射光莫尔条纹空间直线度测量的原理与实验

• 作者: 赵斌
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无衍射光 莫尔条纹 直线度
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 81-86
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 5571字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2002.02.001

摘要

提出用无衍射光和莫尔条纹进行空间直线度测量的技术.无衍射光用作直线基准并照射在一环光栅上.由于无衍射光斑也是一系列环状条纹,因此光栅上将产生莫尔条纹.光栅固定在移动物体上,若运动轨迹偏离无衍射光的中心线,莫尔环就将发生偏离.莫尔环的偏离量数倍于光栅的偏离量,由此产生一放大的二维直线度信号.图像处理技术用于计算莫尔环的中心.理论和实验表明,该方法具有高灵敏度和抗激光漂移的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵斌	华中科技大学机械科学与工程学院仪器系	50	329	11.0	14.0