力学探针及其在薄膜力学性能测量上的应用

• 作者: 李戈扬 邵楠
• 来源期刊: 热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 力学探针 薄膜 硬度 弹性模量 两步压入法
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TG115.21+5.7
• 字数: 3226字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1690.2002.03.001

摘要

力学探针是近年来发展的一种先进的微区力学性能测试方法.本文介绍了力学探针的工作原理,以及采用力学探针技术准确测量薄膜力学性能的两步压入法,展示了这种测试技术在材料力学性能评价上的明显优势和发展潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李戈扬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	109	1036	18.0	25.0
2	邵楠	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	12	95	6.0	9.0