退火温度对TiO2薄膜结构和表面形貌的影响

• 作者: 侯亚奇 吴敏生 庄大明 张弓 赵明
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2薄膜 中频交流磁控溅射 退火 锐钛矿 金红石
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 247-251
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.04.002

摘要

研究了退火温度对中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜结构和表面形貌的影响.利用X射线衍射仪和原子力显微镜,检测了TiO2薄膜的晶体结构和表面形貌.实验结果显示:沉积态TiO2薄膜为非晶态;低温(700 ℃以下)退火后,TiO2薄膜出现锐钛矿相,晶粒长大不明显;高温退火(900 ℃以上)后,薄膜转变为金红石相,晶粒由柱状转变为棱状,并迅速长大至微米量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张弓	清华大学机械工程系	81	914	16.0	27.0
2	庄大明	清华大学机械工程系	104	1374	22.0	32.0
3	赵明	清华大学机械工程系	75	574	13.0	21.0
4	吴敏生	清华大学机械工程系	60	904	18.0	27.0
5	侯亚奇	清华大学机械工程系	16	287	10.0	16.0