真空阴极电弧沉积TiB2薄膜的组织结构及其摩擦学性能的研究

• 作者: 朱霞高 王成彪
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 阴极电弧沉积 TiB2薄膜 摩擦磨损试验
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 112-115
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2002.02.008

摘要

用TiB2作阴极靶,采用优化的真空阴极电弧沉积工艺制备的TiB2薄膜是由TiB2,Ti2B5,TiB和Ti组成的多相结构.薄膜的摩擦磨损试验表明:TiB2薄膜的摩擦系数为0.139,膜层寿命超过60 min,是TiN和(Ti,Al)N膜层的2倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王成彪		60	471	13.0	18.0
2	朱霞高	广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心	12	89	5.0	9.0