网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜的研究

• 作者: 潘俊德 田林海 窦瑞芬 赵晋香 陈飞
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 网状阴极溅射 空心阴极效应 氮化钽薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 表面技术
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2002.02.014

摘要

介绍了一种在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的新方法--网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在工艺参数调配合适的条件下,可制备出结构为面心立方和密排六方结构的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体结合良好.分析了优选工艺参数条件下合成的氮化钽膜的成分、组织、表面和断口形貌及结合力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘俊德	太原理工大学表面工程研究所	49	912	15.0	29.0
2	田林海	太原理工大学表面工程研究所	46	244	9.0	13.0
4	陈飞	太原理工大学表面工程研究所	13	94	5.0	9.0
5	窦瑞芬	太原理工大学表面工程研究所	6	28	3.0	5.0
8	赵晋香	太原理工大学表面工程研究所	12	192	7.0	12.0