一种微透镜--针孔阵列合成器件的制作方法

• 作者: 党开放 孔兵 王昭 谭玉山
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微透镜与针孔阵列合成器件 共焦测量 显微镜 5自由度调节
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 271-272,277
• 页数: 3页
• 分类号: TN2
• 字数: 1786字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2002.03.014

摘要

微透镜阵列与针孔阵列的组合光学器件是全场共焦检测系统中的一个关键器件.微透镜中心与针孔中心要求严格对准,相应的装配对准精度应控制在几微米之内.本文给出了一种可进行5自由度高精度调节,并利用光学显微镜进行实时监测的对准方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王昭	西安交通大学激光与红外研究所	63	763	13.0	26.0
2	谭玉山	西安交通大学激光与红外研究所	77	1184	18.0	31.0
3	党开放	西安交通大学激光与红外研究所	9	82	6.0	9.0
4	孔兵	西安交通大学激光与红外研究所	18	543	8.0	18.0