半导体工业真空泵油的处理与再造利用

• 作者: 汤卫民 许蔓秋
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空泵油 全氟聚醚油 特性 再造利用
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 特辑（半导体材料与设备）
• 页码范围: 29-30
• 页数: 2页
• 分类号: TB742
• 字数: 1991字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2002.03.011

摘要

介绍了半导体工业真空泵油,在对其性能特点进行比较的基础上,着重对杜邦全氟聚醚油的性能、特点做了介绍,并提出利用方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许蔓秋	杜邦中国集团有限公司北京办事处	1	0	0.0	0.0
2	汤卫民		1	0	0.0	0.0