压阻式金刚石压力传感器的优化设计

• 作者: 张志明 戴永斌 沈荷生 莘海维
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 压力传感器 灵敏度 优化设计
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2002.03.007

摘要

介绍了一种新型金刚石高温压力传感器的优化设计方法.采用薄板弯曲理论研究了均匀载荷作用下多晶金刚石方膜在小挠度和大挠度下的应变分布情况.对设计时应当考虑的主要问题包括金刚石力敏电阻条的掺杂浓度,电桥的形式,电阻条在膜片上的分布以及电阻条的有效长度和形状等进行了讨论.利用模拟程序确定了力敏电阻条的最优有效长度,分析了敏感膜片厚度,方块电阻等因素对电阻条有效长度和输出响应的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志明	上海交通大学微电子所	46	553	15.0	21.0
2	沈荷生	上海交通大学微电子所	45	494	12.0	20.0
3	莘海维	上海交通大学微电子所	9	104	6.0	9.0
4	戴永斌	上海交通大学微电子所	1	5	1.0	1.0