用化学气相沉积法制备红外体块晶体ZnS

• 作者: 东艳苹 孙振宇 方珍意 李楠 李洪生 杨耀源 王和明 蔡以超 闫泽武
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 硫化锌 化学气相沉积法 红外性能 红外晶体
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: O78|O734
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2002.01.006

摘要

本文报道了采用化学气相沉积法制备红外ZnS体块晶体的工艺及其性能.并用傅立叶红外光谱仪测试了材料的红外性能,研究了晶体缺陷对材料红外透过率的影响.结果表明:通过优化生长工艺,使反应室的压力在500～1000Pa之间变化,沉积温度控制在550～650℃之间,可以制备出厚度均匀,红外透过率(3-5μm和8～12μm)在70%以上,尺寸达250mm×250mm×15mm高质量的ZnS体块晶体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方珍意		3	18	2.0	3.0
2	蔡以超		4	30	3.0	4.0
3	东艳苹		3	19	2.0	3.0
4	闫泽武		2	18	2.0	2.0
5	王和明		2	18	2.0	2.0
6	杨耀源		2	18	2.0	2.0
7	李楠		1	6	1.0	1.0
8	孙振宇		1	6	1.0	1.0
9	李洪生		3	26	2.0	3.0