超净气体输配管道的施工验收技术

• 作者: 张洪雁
• 来源期刊: 工厂动力
• 学科: 工学
• 关键词: 超净气体 输配管道 施工验收技术 管道洁净度 终端过滤器 施工保障 集成电路制造工艺 清洁技术
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 分类号: TN405

摘要

本文作为“高纯，高洁净气体输配管道的配管技术”一文的延续和补充。文中进一步阐述超净管道的配管标准，终端过滤器的功效，严谨的施工保障措施，以及验收的检测方法等细节问题，为设计，施工人员提供一个良好的借鉴。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洪雁		19	31	3.0	5.0