有机改性硅酸盐材料薄膜微光学元件制作研究

• 作者: 吴海鹰 方敬忠 杜春雷
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微光学元件 硅酸盐薄膜 复制
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 微光学
• 页码范围: 25-29
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 4068字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2002.05.008

摘要

利用正交实验法研究相关因素对ORMOSILS(有机改性硅酸盐材料)薄膜成膜性的影响,并通过调整陈化时间以优化复制工艺.与光敏胶微光学元件相比,复制出的微光学元件光学性能、力学性能有了较大的改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方敬忠	中国科学院光电技术研究所	11	48	3.0	6.0
2	杜春雷	中国科学院光电技术研究所	72	596	14.0	18.0
3	吴海鹰	中国科学院光电技术研究所	6	12	2.0	3.0