激光诱导普通玻璃表面局域液相化学沉积铜的研究

• 作者: 刘立兵 李明辉 赵毅
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: CO2激光器 激光诱导 玻璃 化学沉积 液相 铜
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 激光应用与系统
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: TN24
• 字数: 3658字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2002.03.018

摘要

利用CO2激光(λ＝10.6μm)作为诱导光源,普通玻璃作为衬底,研究了影响激光沉积质量和速率的因素,探讨了激光诱导液相化学沉积技术的反应机制,反应产物及其沉积模型等.采用光学显微镜对其沉积过程和沉积铜的微观形貌进行了观察.结果表明:激光诱导液相化学沉积技术能沉积出表面平整,颗粒大小均匀、规则,分布致密的铜镀层,且沉积速率比起普通化学镀也要高出几个数量级.