微机械制造技术及应用

• 作者: 于云霞 贾宝贤 陆富荣
• 来源期刊: 机械制造
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 微机电系统 制造工艺 应用
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 所属期刊栏目: 微机械与机器人技术
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TM38|TN405
• 字数: 4383字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4998.2002.09.003

摘要

介绍了微机械的制造技术和应用实例,并透视了微机械的市场前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾宝贤	哈尔滨工业大学威海校区	23	599	13.0	23.0
2	于云霞		10	168	6.0	10.0
3	陆富荣		1	1	1.0	1.0