硅基二氧化硅波导的双折射效应补偿理论分析

• 作者: 杨沁清 王启明 王红杰 胡雄伟 邓晓清
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基二氧化硅波导 偏振补偿 双折射
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1303-1307
• 页数: 5页
• 分类号: TN814+.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.12.014

摘要

使用有限元方法分析了硅基二氧化硅波导的两种偏振补偿方法的可行性.结果表明采用应力释放槽和调节上包层热膨胀系数都可改善波导的偏振相关性.采用应力释放槽可以释放波导中的由于硅衬底与二氧化硅热膨胀系数失配造成的压应力,可以影响芯区附近的应力分布,但是只有释放槽的深度达到一定值时才能改善波导的偏振相关性,增大槽的宽度也在一定程度改善偏振相关性,但效果较差.调节波导上包层的热膨胀系数可以很好的解决波导的偏振相关问题,而调节波导的其它层的热膨胀系数对波导的偏振相关作用较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王红杰	中国科学院半导体研究所光电研究发展中心	32	93	6.0	7.0
2	胡雄伟	中国科学院半导体研究所光电研究发展中心	41	134	6.0	9.0
3	杨沁清	中国科学院半导体研究所光电研究发展中心	11	78	6.0	8.0
4	王启明	中国科学院半导体研究所光电研究发展中心	118	735	14.0	20.0
5	邓晓清	中国科学院半导体研究所光电研究发展中心	3	21	2.0	3.0