带耦合光栅的量子阱红外探测器研制

• 作者: 余晓中 刘天东 周传鸿 李宁珍 李洪发 沈潜 谢东珠 郭献东 魏永乐
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 分子束外延 量子阱 红外探测器 焦平面器件 衍射光栅
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 77-80,85
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 2765字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2002.06.018

摘要

报导了带二维衍射光栅的128元线列GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面探测器的研究成果.探测器光吸收峰值波长λP＝8.9 μm,采用垂直入射光耦合的工作模式,在80 K工作温度下其平均黑体电压响应率为2.75×104V/W,平均黑体探测率为2.52×109 cmHz1/2/W;电压响应率和探测率的非均匀性分别5.2%和8.3%.128元线列探测器与64元CMOS读出电路对接后与光学系统、扫描系统、数据采集系统和图像显示系统等组成红外成像演示系统,实验室获得了清晰的人体手部热像和余热图像.