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二维正弦调制靶的图形转移研究
二维正弦调制靶的图形转移研究
作者:
吴广明
周斌
唐伟星
孙骐
杨帆
沈军
王珏
黄耀东
原文服务方:
原子能科学技术
平面调制靶
电镀
图形转移工艺
摘要:
根据惯性约束聚变分解实验的要求,通过激光干涉法在光刻胶表面制备正弦起伏图形,结合电镀图形转移工艺,获得了波长20~100 μm、振幅0.2~3.5 μm的一系列Ni基图形转移模板,并进一步将正弦起伏图形转移到聚苯乙烯薄膜表面,制备出聚苯乙烯二维调制箔靶.研究了图形的精确转移工艺,特别是深振幅样品的脱模工艺,对工艺参数的优化进行了讨论.采用台阶仪和原子力显微镜监控图形转移过程,比较了光刻胶表面图形和一次、二次电镀转移图形以及转移到聚苯乙烯薄膜上图形的形貌,测定了图形转移过程中的深度变化.
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文献信息
篇名
二维正弦调制靶的图形转移研究
来源期刊
原子能科学技术
学科
关键词
平面调制靶
电镀
图形转移工艺
年,卷(期)
2002,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
327-330
页数
4页
分类号
TL639
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-6931.2002.04.011
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
周斌
同济大学波耳固体物理研究所
140
1582
22.0
31.0
2
沈军
同济大学波耳固体物理研究所
199
2285
26.0
36.0
3
王珏
同济大学波耳固体物理研究所
79
1255
22.0
32.0
4
杨帆
同济大学波耳固体物理研究所
95
774
15.0
24.0
5
吴广明
同济大学波耳固体物理研究所
118
1607
22.0
32.0
6
孙骐
同济大学波耳固体物理研究所
17
263
8.0
16.0
7
唐伟星
同济大学波耳固体物理研究所
6
19
3.0
4.0
8
黄耀东
同济大学波耳固体物理研究所
10
148
7.0
10.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
版权信息
全文
全文.pdf
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(7)
节点文献
引证文献
(7)
同被引文献
(9)
二级引证文献
(17)
1986(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1989(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
1990(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1995(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1996(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1997(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2002(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2004(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2005(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2006(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2007(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
2008(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2009(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2011(1)
引证文献(1)
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引证文献(1)
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节点文献
平面调制靶
电镀
图形转移工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
原子能科学技术
主办单位:
中国原子能科学研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-6931
CN:
11-2044/TL
开本:
大16开
出版地:
北京275信箱65分箱
邮发代号:
创刊时间:
1959-01-01
语种:
中文
出版文献量(篇)
7198
总下载数(次)
0
总被引数(次)
27955
相关基金
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
重点项目
学科类型:
信息技术
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