ANSYS在硅岛膜设计中的应用

• 作者: 孙承松 李晔辰
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: ANSYS CAD 硅岛膜 有限元
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 技术与应用
• 页码范围: 26-28,35
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2002.11.005

摘要

ANSYS是计算机辅助工程分析中一套应用广泛的工程分析软件,它可以应用于诸如机械、航天、土木、电子等不同的领域.本文正是充分利用了ANSYS软件的有限元分析功能,将硅岛膜在受一定压力下的位移变化进行分析,再根据硅岛膜的其它尺寸要求,可以取得硅岛膜的最佳尺寸.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙承松	沈阳工业大学信息科学与工程学院	17	134	6.0	11.0
2	李晔辰	沈阳工业大学信息科学与工程学院	2	6	1.0	2.0