电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用

• 作者: 史强 张福安 靳鹏云
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 对准技术 标记对准模拟软件 电子束缩小投影曝光机
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 33-35,43
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1987字
• 语种: 中文

摘要

介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形,模拟出标记对准的背散射信号,并与实际实验信号图形进行了对比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳鹏云	中国科学院电工研究所	15	21	2.0	3.0
2	史强	中国科学院电工研究所	11	59	4.0	7.0
3	张福安	中国科学院电工研究所	9	10	2.0	2.0