氮化蓝宝石衬底上GaN薄膜的微结构与光学性质

• 作者: 张国义 朱建民 沈波 秦志新 郑有 陈志忠
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化镓 微结构 光学性质
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 124-128
• 页数: 5页
• 分类号: TN312.8
• 字数: 3683字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2002.02.005

摘要

用透射电子显微镜(TEM),X射线衍射(XRD)和光荧光谱(PL)等测量手段研究了GaN薄膜的微结构和光学性质.样品是用光辐射加热MOCVD在蓝宝石衬底上制备的.随着衬底氮化时间的增加,扩展缺陷的密度显著增加.在位错密度增加一个数量级时,XRD摇摆曲线半宽度(FW-M)由11"增加到15",PL谱的黄光发射从几乎可忽略增加到带边发射强度的100倍.结合生长条件,我们对黄光与微结构的关系作了讨论.