Φ125mm硅抛光片成品率的控制

• 作者: 吴一平 汪祖一 顾梅
• 来源期刊: 微电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 成品率 缺陷 表面参数 洁净度
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 封装与可靠性
• 页码范围: 46-47,54
• 页数: 3页
• 分类号: TN306
• 字数: 1731字
• 语种: 中文

摘要

本文分析了化学机械抛光中影响Φ125mm硅抛光片成品率的原因,并针对各种缺陷进行工艺研究和探索,提出了相应的解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾梅		1	0	0.0	0.0
2	吴一平		1	0	0.0	0.0
3	汪祖一		1	0	0.0	0.0