铍上铝镀层微观结构研究

• 作者: 李瑞文 邹觉生 鲜晓斌
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 铍 膜层 微观结构 界面 应力
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 277-280
• 页数: 4页
• 分类号: TG17|TL34
• 字数: 2823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2002.04.009

摘要

采用磁控溅射离子镀和等离子喷涂方法在Be表面制备铝镀层,并分别用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)、俄歇电子能谱仪(AES)和X射线应力分析仪分析了膜层微结构、表面形貌、膜与基体界面情况以及内应力等.研究表明,Be上磁控溅射离子镀Al时,在膜基界面形成宽度约为 1 μm 的 Be、Al 原子共混区,膜层由柱状晶组成,膜层应力为微压应力.等离子喷涂涂层不如前者致密,界面存在微裂纹,膜层应力为拉应力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹觉生		36	278	10.0	13.0
2	鲜晓斌		47	280	10.0	12.0
3	李瑞文		12	28	3.0	5.0