新型二维压电驱动微动工作台的设计分析

• 作者: 刘品宽 孙立宁 曲东升 王莉
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动 纳米级微定位 柔性铰链 有限元分析
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TP24
• 字数: 1814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2002.01.009

摘要

研究开发了一种新型压电驱动二自由度纳米级微定位工作台.文章采用静力学理论对微动工作台的运动副进行了建模分析,推导出直角平行板柔性铰链的刚度计算表达式.采用有限元分析方法,对柔性铰链和微动工作台的静、动态力学特性数值分析,并对微动工作台的模态频率进行了实验测试.理论分析、有限元计算和实验结果的一致性说明理论分析的正确性和数值分析的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
2	曲东升	哈尔滨工业大学机器人研究所	47	1041	20.0	31.0
3	刘品宽	哈尔滨工业大学机器人研究所	19	609	15.0	19.0
4	王莉	哈尔滨工业大学分析测试中心	43	317	10.0	15.0