提高非接触式细丝直径测量精度的技术和方法探讨

• 作者: 刘义族
• 来源期刊: 天津师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: Fraunhofer衍射 Babinet原理 激光 光条特征点优化
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: O434.12
• 字数: 1984字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1114.2002.02.017

摘要

基于Fraunhofer衍射和Babinet原理可以实现用激光作为光源的细丝直径非接触高精度测量. 理论计算和实验表明影响细丝直径测量精度的因素包括:衍射条纹宽度的测量、入射光波E取向和CCD的横向移动等. 从Maxwell方程出发,根据被测细丝表面的边界条件求出衍射场,从而进一步讨论E的取向对细丝测量精度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘义族	天津师范大学物理与电子信息学院	4	18	2.0	4.0