Fe—Zr—B非晶磁性薄膜制备工艺对性能的影响

• 作者: 徐炜新 程新利
• 来源期刊: 金属材料研究
• 学科: 工学
• 关键词: Fe-Zr-b合金 非晶薄膜 磁控溅射 磁性能
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 页码范围: 26-31
• 页数: 6页
• 分类号: TG139.8

摘要

用JGPP560D型双室多功能磁控溅射仪成功制备了Fe-Zr-B非晶磁性薄膜，并获得了良好的磁性能，并研究了制备工艺对薄膜性能的影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐炜新		9	8	2.0	2.0
2	程新利	中科院上海冶金研究所	3	3	1.0	1.0