CVD金刚石薄膜的制备方法及应用

• 作者: 朱建勇 李力 柴欣 梅炳初
• 来源期刊: 炭素技术
• 学科: 化学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 综合述评
• 页码范围: 28-31
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|O613.71
• 字数: 3667字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3741.2002.03.007

摘要

对现在的化学气相沉积金刚石薄膜的方法和金刚石薄膜在器件中的应用进行介绍和评论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梅炳初	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	119	997	17.0	24.0
2	李力	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	27	325	7.0	17.0
3	朱建勇	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	5	27	1.0	5.0
4	柴欣	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	5	27	1.0	5.0