透明导电氧化物薄膜的新进展

• 作者: 孔令柱 孟扬 杨锡良 沃松涛 沈杰 章壮健 蒋益明 陈佾 陈华仙
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电薄膜 进展
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 125-130,144
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 字数: 4062字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2002.03.001

摘要

透明导电氧化物(TCO)薄膜In2O3∶Sn和SnO2∶F都已经发展成熟,分别大规模应用于平板显示器和建筑两大领域.最近几年,TCO薄膜的研究又进入了一次复兴时期,研究和开发出几类具有明显特色的新型TCO薄膜.ZnO基TCO薄膜有替代In2O3∶Sn薄膜的趋势;多元TCO薄膜材料可以调整其性能来满足某些特殊应用的需求;具有高载流子迁移率的In2O3∶Mo薄膜为进一步提高TCO薄膜的性能打开了一条新路;真正的p型TCO薄膜为制造透明电子元器件迈出了第一步.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈杰	复旦大学材料科学系	79	645	12.0	22.0
2	沃松涛	复旦大学材料科学系	11	229	8.0	11.0
3	杨锡良	复旦大学材料科学系	22	512	13.0	22.0
4	章壮健	复旦大学材料科学系	41	667	16.0	24.0
5	孟扬	复旦大学材料科学系	6	180	5.0	6.0
6	陈华仙	复旦大学材料科学系	5	181	5.0	5.0
7	蒋益明	复旦大学材料科学系	45	486	11.0	21.0
8	孔令柱	复旦大学材料科学系	4	59	2.0	4.0
9	陈佾	复旦大学材料科学系	3	82	3.0	3.0